11月12日，全国产业计量融合创新发展会议在湖南衡阳召开。会议现场发布了市场监管总局和工信部联合开展的“计量支撑产业新质生产力发展2025年度十大重点项目”，深圳检测院牵头承担的“纳米级工业CT检测装置研制”入选十大重点项目之一。
瞄准“卡脖子”难题，
攻坚纳米级精密检测
高端芯片与集成电路产业是国民经济和社会发展的基础性、先导性、战略性产业。随着先进封装技术发展，纳米级工业 CT 成为产品质量保障的关键检测装备。当前，国内相关装备高度依赖进口，国产化装备空白导致产业面临 “卡脖子” 风险。
深圳检测院承担的“纳米级工业 CT 检测装置研制”项目，在自主研发的“平面扫描成像工业CT设备”基础上推进。现有设备可在数秒内实现芯片封装、电路板等产品内部三维结构的快速重建与缺陷识别，最高分辨率达1微米，目前该设备已在多家企业与科研机构投入应用。为进一步满足高端芯片微纳结构检测需求，服务我国高端集成电路与先进封装产业，深圳检测院积极推进“纳米级工业CT检测装置研制”。项目将引入 AI 技术，突破纳米级分辨力成像、全自动缺陷识别与智能分析及控制软件等关键技术，研制形成百纳米级高分辨工业CT检测装置，同时建立配套计量检测技术标准及规范，形成从核心装备到系统解决方案的全链条支撑能力。
全力推进研制，
服务新质生产力
此次项目入选，标志着深圳检测院在高端计量装备领域的研发能力获国家认可。下一步，深圳检测院将加快项目实施，推动装备工程化与产业化应用，持续强化计量检测对科技创新和产业升级的基础支撑与战略引领，为提升国产高端装备自主创新能力、培育产业新质生产力注入强劲动能，以实际行动服务国家战略，助力经济社会高质量发展。
