Escalab250的操作软件叫做Thermo Avantage，可以计算元素的原子百分含量，它的自动拟合功能极具特长，能够轻松而且精确地分峰。可惜的是文件格式为vgp，并不像Kratos的结果可以直接被Unifit和XPSpeak直接使用。
测试时应该想到的几点。
1.必须对样品清理，并用镊子等接触。因为样品极易污染，你可能会发现料想不到的元素。比如，Si来自开炼机上沾到了白炭黑，Na来自手上的汗水。如果你不确信你的样品上含有什么元素，不妨对多种元素进行单扫描。
2.扫描的深度只有几个纳米，测试的结果为表面的信息。而样品表面与内部有不同的化学性质，所以表面的元素含量和内部含量不同。
3.元素含量太低，会测不出来。这个最低浓度和该元素的效率Si(不是硅)有关。元素含量越高，曲线越平滑。
4.元素的结合能必须进行电荷校正，通常以C(285eV)、O(532eV)或者某种固定的内标元素综合考虑校正电荷量。单以285eV来校准C1s的结合能，是容易出错误的。譬如等离子氧化的样品表面，低结合能的C峰降低，被隐藏到高结合能的C的右下侧了。
5.一些有用的结合能数据，书中有介绍，如果想在网上找到，我推荐Lasurface网站。http://www.lasurface.com/database/liaISOnxps.php
6.测试给出的相对含量为半定量结果，不是非常准确，可以使用XPSpeak重新对其计算。
使用XPSpeak可以对曲线进行拟合，计算相对含量
将曲线导出为Excle文件，挑选合适的数据保存成txt文件，可以导入XPSpeak。XPSpeak有时会提示数据错误，删除txt文件中的多余文字和空格可以解决这个问题。这个问题解决了，心情就很快乐了，因为剩下的工作很容易解决。
在XPSpeak菜单栏中依次选择【background】【add peak】【optimise region】，去除基底，添加峰位，优化optimise就可以了。最后记得保存成.xps文件。拟合的曲线可以通过Data-Export(Spectrum)获得，有几个峰就有几条拟合的峰拟合曲线。
譬方C1s的结合能详细的列在下表中。
Energy (eV) Element Chemical bound Ref
277.1 C1s Graphite C (fluoration F2-HF sur fibre Torayca) 117
278.4 C1s C-sec (fluoration avec F2-HF sur fibre Torayca) 117
279.2 C1s CH4 136
281.9 C1s carbures 45
282 C1s a single carbide species (C4-) as observed in a-C:H/Al 223
283.3 C1s BaC2 150
283.3 C1s Graphite C (fluoration F2-HF sur fibre C320.00A) 117
283.5 C1s Al-O-C(PET) 56
283.5 C1s C diamant 147
284 C1s après adsorp°de C2H2 sur le Pt(111) à 100K (100K) 37
284.1 C1s C graphite 197
284.1 C1s C-C (CB ou graphite) 226
284.1 C1s après adsorp°de C2H2 sur le Pt(111) à 100K (650K) 37
284.2 C1s HOPG + C/F=20 110
284.22 C1s HOPG 142
284.3 C1s C graphite 150
284.3 C1s C (graphite) 111
284.3 C1s après adsorp°de C2H2 sur le Pt(111) à 100K (390K) 37
284.3 C1s après adsorp°de C2H2 sur le Pt(111) à 100K (1130K) 37
284.3 C1s graphite 114
284.3 C1s plasma: O2/Ar/NH3 122
284.3 C1s 30 mn de traitement plasma oxygène du graphite 122
284.36 C1s graphite (GRA) 91
284.4 C1s Mn(C5H5)2 111
284.4 C1s C ( intercalation : stade 3) 142
284.4 C1s carbone amorphe (échantillon bombardé) (i-C*) 91
284.4 C1s Graphite C (fibre C320.00A) 117
284.4 C1s C-sec (fluoration avec F2-HF sur fibre C320.00A) 117
284.42 C1s C for M-GICs (HOPG, regular ) 143
284.5 C1s C graphite (HOPG ) 14
284.5 C1s C graphite (HOPG ) 14
284.5 C1s SnPh4 111
284.5 C1s CB dans le graphite 226
284.5 C1s diamant pur 199
284.5 C1s C graphitique 99
284.5 C1s Pic du C élémentaire 152
284.6 C1s (CH2)n 111
284.6 C1s C 175
284.6 C1s C=C du Polyimide Kapton 15
284.6 C1s C-C , C-H pollution -pyrite n°2- 163
284.6 C1s HOPG 110
284.6 C1s carbone pur 45
附3种元素的积分因子 C1s=1， O1s=2.93， S2p=1.67
